イオン照射による半導体微細セル構造の自己組織化形成

• 新田 紀子

  高知工科大学物質・環境システムエ学科

• 谷脇 雅文

  高知工科大学物質・環境システムエ学科

書誌事項

タイトル別名

• Self-Organized Formation of Cellular Structure on Semiconductors by Ion-Implantation

収録刊行物

• まてりあ

  まてりあ 43 (12), 1014-1014, 2004

  公益社団法人 日本金属学会

キーワード

• GaSb
• ion implantation
• cellular structure
• compound semiconductor

詳細情報

• CRID: 1390282679055562880
• NII論文ID: 10014238976
• NII書誌ID: AN10433227
• DOI: 10.2320/materia.43.1014
• ISSN: 18845843
• ISSN: 13402625
• Web Site: https://www.jstage.jst.go.jp/article/materia1994/43/12/43_12_1014/_pdf
• データソース種別:
  • JaLC
  • Crossref
  • CiNii Articles
  • KAKEN