レーザープラズマ支援成膜法の開発

• 村井 健介

書誌事項

タイトル別名

• レーザープラズマ シエンセイマクホウ ノ カイハツ
• 「極端紫外リソグラフィー光源開発の最前線」特集号
• キョクタン シガイ リソグラフィー コウゲン カイハツ ノ サイゼンセン トクシュウゴウ

収録刊行物

• レーザー研究 = The review of laser engineering : レーザー学会誌 / レーザー学会 編

  レーザー研究 = The review of laser engineering : レーザー学会誌 / レーザー学会 編 32 (12), 806-811, 2004-12

  吹田 : レーザー学会

キーワード

• Laser plasma
• Laser-induced gas breakdown
• Gas-puff target
• Vacuum ultraviolet
• VUV
• Laser plasma assisted deposition
• LPAD

詳細情報

• CRID: 1520290882286955520
• NII論文ID: 10014241380
• NII書誌ID: AN00255326
• ISSN: 03870200
• NDL書誌ID: 7184055
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I7184055
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles