ＥＬＩＤ　マイクロファブリケーションシステムにおけるマイクロツールの開発　　第３報：マイクロツールの高性能加工について

• 石川 惣一

  独立行政法人理化学研究所

• 上原 嘉宏

  独立行政法人理化学研究所

• 渡邉 裕

  独立行政法人理化学研究所

• 片平 和俊

  独立行政法人理化学研究所

• 林 偉民

  独立行政法人理化学研究所

• 大森 整

  独立行政法人理化学研究所

• 三石 憲英

  新世代加工システム (株)

• 山本 幸治

  (有) チューブシステムズ

書誌事項

タイトル別名

• Development of micro tool by ELID micro fabrication system 3rd report: High efficiency machining of micro-tools
• ELIDマイクロファブリケーションシステムにおけるマイクロツールの開発--第3報:マイクロツールの高能率加工について
• ELID マイクロファブリケーション システム ニ オケル マイクロツール ノ カイハツ ダイ3ポウ マイクロツール ノ コウノウリツ カコウ ニ ツイテ
• 3^rd report : High efficiency machining of micro-tools
• 第3報 : マイクロツールの高能率加工について

抄録

本研究では今までに, 「マイクロワークショップ」という概念に基づいて考案した小型立形円筒研削加工機 “KAMI-Ca-ZET方式” にELID研削システムを適用して, 微細加工において必要不可欠なマイクロツールの開発を行ってきた. 加工システムに旋回電極式ELIDシステムや, MQL加工法を適用することにより, 先端2 μm角のピラミッド型マイクロツールの製作が可能となった. そこで本研究では, さらにマイクロツール加工の高能率化のために, ELID研削システム適用の卓上型円筒研削加工機 “CYLIN” の開発を行った. 本報では, 小型立形円筒研削加工機 “KAMI-Ca-ZET方式” と卓上型円筒研削加工機 “CYLIN” の加工能率を調べた結果, 加工所要時間を1/30に短縮することができた. 基礎加工実験として, 砥石回転方向による加工面性状に影響があることが検証された. また, 形状精度評価実験で真円度には影響がないことが検証された.

収録刊行物

• 砥粒加工学会誌

  砥粒加工学会誌 49 (3), 157-162, 2005

  社団法人 砥粒加工学会

キーワード

• ELID grinding
• micro fabrication
• micro tool
• cast iron bonded diamond wheel
• cylindrical grinder
• hard material

詳細情報

• CRID: 1390282679310103040
• NII論文ID: 10014488620
• NII書誌ID: AN10192823
• DOI: 10.11420/jsat.49.157
• ISSN: 18807534
• ISSN: 09142703
• NDL書誌ID: 7266626
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I7266626
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • NDL
  • CiNii Articles
• 抄録ライセンスフラグ: 使用不可