マイクロエアブリッジヒータを用いた熱式風速計の試作

• 八坂 慎一

  神奈川県産業技術総合研究所

• 大屋 誠志郎

  神奈川県産業技術総合研究所

• 三橋 雅彦

  神奈川県産業技術総合研究所

• 金子 智

  神奈川県産業技術総合研究所

• 伊藤 健

  神奈川県産業技術総合研究所

• 菅野 洋一

  株式会社アイ電子技研

• 相京 幸保

  株式会社フラット電子

• 小室 眞一

  株式会社フラット電子

• 大林 一也

  株式会社フラット電子

• 木村 光照

  東北学院大学工学部

書誌事項

タイトル別名

• Thermal Anemometer Using a Micro-Air-Bridge Heater
• マイクロエアブリッジヒータ オ モチイタ ネツシキ フウソクケイ ノ シサク

抄録

We have developed a thermal anemometer with novel structures of micro-air-bridge heater and micro wind tunnel to regulate flow direction, which is fabricated by silicon micromachining technique. The features of sensor are low electrical power consumption and quick response. By using the sensor head with inclined package to flow direction, we have significantly improved the characteristics of the anemometer with a wind velocity up to 30m/s and a directionality of ±15 degree within an accuracy of 0.7%.

収録刊行物

• 電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌）

  電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌） 125 (3), 124-128, 2005

  一般社団法人 電気学会

キーワード

• マイクロマシニング
• マイクロエアブリッジヒータ
• 熱式風速計
• シミュレーション
• 光造型

詳細情報

• CRID: 1390001204461078400
• NII論文ID: 10014490003
• NII書誌ID: AN1052634X
• DOI: 10.1541/ieejsmas.125.124
• ISSN: 13475525
• ISSN: 13418939
• NDL書誌ID: 7270071
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I7270071
• Web Site: http://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas/125/3/125_3_124/_pdf
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • NDL
  • Crossref
  • CiNii Articles
• 抄録ライセンスフラグ: 使用不可