書誌事項
- タイトル別名
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- Experimental Friction Compensation Method for SPIDER-Driven Precision Stage Control
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収録刊行物
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- 電気学会研究会資料. IIC, 産業計測制御研究会
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電気学会研究会資料. IIC, 産業計測制御研究会 2005 (40), 79-84, 2005-03-10
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キーワード
詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1572261550062206208
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- NII論文ID
- 10015555136
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- NII書誌ID
- AN10074226
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- CiNii Articles