帯電電荷密度分布の高空間分解測定に向けて

• 熊田 亜紀子

  東京大学大学院工学系研究科

書誌事項

タイトル別名

• Surface Charge Measurement with High Spatial Resolution Using Electrostatic Probe
• タイデン デンカ ミツド ブンプ ノ コウクウカン ブンカイ ソクテイ ニ ムケテ

抄録

In the case of charge distribution measurement on an insulating material using an electrostatic probe, an inverse calculation from the probe output to the charge distribution is inevitable, because the probe output is influenced by the surface charges on the entire surface of the measured object. Signal-processing techniques have been adopted to improve the stability of such inverse calculation. The spatial resolution of measuring system is discussed in terms of the transfer characteristics in spatial frequency domain.

収録刊行物

• 電気学会論文誌．　Ａ

  電気学会論文誌．　Ａ 125 (4), 281-286, 2005

  一般社団法人 電気学会

キーワード

• 表面電荷
• 静電プローブ
• 分解能
• 点像分布関数
• 正則化

詳細情報

• CRID: 1390282679571467904
• NII論文ID: 10015576737
• NII書誌ID: AN10136312
• DOI: 10.1541/ieejfms.125.281
• ISSN: 13475533
• ISSN: 03854205
• NDL書誌ID: 7303447
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I7303447
• Web Site: http://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejfms/125/4/125_4_281/_pdf
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • NDL
  • Crossref
  • CiNii Articles
  • KAKEN
• 抄録ライセンスフラグ: 使用不可