電磁石と圧電素子を用いた精密位置決め用アクチュエータ

• 小柳 友洋

  愛知工業大学

• 鳥井 昭宏

  愛知工業大学電気工学科

• 植田 明照

  愛知工業大学

書誌事項

タイトル別名

• Microactuator for precision positioning using piezoelectric elements and electromagnets

収録刊行物

• シンポジウム電磁力関連のダイナミックス講演論文集

  シンポジウム電磁力関連のダイナミックス講演論文集 11 301-304, 1999-10-13

キーワード

• electromagnet
• piezoelectric element
• microactuator

詳細情報

• CRID: 1571417125153874560
• NII論文ID: 10015610581
• NII書誌ID: AA11282431
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles