銅微細パターン作製のための172nm真空紫外光を用いた液晶ポリマーフィルムの表面改質

• 福谷 修平

• 浅倉 秀一

• 不破 章雄

書誌事項

タイトル別名

• ドウ ビサイ パターン サクセイ ノ タメ ノ 172nm シンクウ シガイコウ オ モチイタ エキショウ ポリマー フィルム ノ ヒョウメン カイシツ

収録刊行物

• エレクトロニクス実装学会誌 = Journal of the Japan Institute of Electronics Packaging

  エレクトロニクス実装学会誌 = Journal of the Japan Institute of Electronics Packaging 8 (4), 325-329, 2005-07

  東京 : エレクトロニクス実装学会

キーワード

• Electroless Plating
• Excimer Lamp
• Surface Modification
• Self-Assembled Monolayer
• Liquid Crystalline Polymer

詳細情報

• CRID: 1520290884722440448
• NII論文ID: 10016465912
• NII書誌ID: AA11231565
• ISSN: 13439677
• NDL書誌ID: 7413901
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I7413901
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles