放送用コンデンサ型シリコンマイクロホンの試作

• 後藤 正英

  NHK放送技術研究所

• 田島 利文

  NHK放送技術研究所

• 井口 義則

  NHK放送技術研究所

• 小野 一穂

  NHK放送技術研究所

• 安藤 彰男

  NHK放送技術研究所

• 谷岡 健吉

  NHK放送技術研究所

• 武子 太司

  パナソニックSCデバイスソリューションズ株式会社

• 松永 進

  パナソニックSCデバイスソリューションズ株式会社

• 安野 功修

  パナソニックSCデバイスソリューションズ株式会社

書誌事項

タイトル別名

• Fabrication of a Condenser Silicon Microphone for Broadcasting

収録刊行物

• 電気学会研究会資料. MSS, マイクロマシン・センサシステム研究会

  電気学会研究会資料. MSS, マイクロマシン・センサシステム研究会 2005 (21), 1-5, 2005-06-22

キーワード

• マイクロホン
• シリコン
• MEMS (Micro Electro Mechanical Systems)
• ダイアフラム
• バックプレート

詳細情報

• CRID: 1573387450049907328
• NII論文ID: 10016471543
• NII書誌ID: AA11471751
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles