容量結合型RF放電プラズマにおける特異な軸方向密度分布

• 山口 真己人

  東京理科大学

• 寺田 正

  東京理科大学

• 小越 澄雄

  東京理科大学

書誌事項

タイトル別名

• Axial Density Profile with Two Peaks in RF Capacitive Discharges at Medium Pressure

収録刊行物

• 電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集 = Proceeding of Annual Conference of Fundamentals and Materials Society, IEE Japan

  電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集 = Proceeding of Annual Conference of Fundamentals and Materials Society, IEE Japan 1999 285-290, 1999-09-08

キーワード

• 容量結合型RF放電
• αγ遷移
• PIC-MCCシミュレーション
• 密度分布
• 雪崩電離
• 2次電子

詳細情報

• CRID: 1570009750365744000
• NII論文ID: 10016713737
• NII書誌ID: AA11982604
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles