半導体デバイス製造技術(リソグラフィー法)の触媒表面の微細加工への応用と反応性の制御

• 鈴木 秀士

• 大南 祐介

• 朝倉 清高

書誌事項

タイトル別名

• ハンドウタイ デバイス セイゾウ ギジュツ リソグラフィーホウ ノ ショクバイ ヒョウメン ノ ビサイ カコウ エ ノ オウヨウ ト ハンノウセイ ノ セイギョ

収録刊行物

• ペトロテック = Petrotech : 石油学会情報誌 / 石油学会 編

  ペトロテック = Petrotech : 石油学会情報誌 / 石油学会 編 26 (3), 206-210, 2003-03

  東京 : 石油学会 ; 1978-

詳細情報

• CRID: 1520853832997746048
• NII論文ID: 10016750484
• NII書誌ID: AN00223523
• ISSN: 03862763
• NDL書誌ID: 6494619
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I6494619
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZP29(科学技術--化学・化学工業--燃料--石油)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles