応力の3軸成分を有効利用したピエゾ抵抗型カセンサ

• 新井 雅人

  立命館大学

• 澤 和也

  立命館大学

• 鳥山 寿之

  立命館大学

• 杉山 進

  立命館大学

書誌事項

タイトル別名

• Piezoresistive Force Sensor Utilizing Combination of Three-Axis Stress Components

収録刊行物

• 電気学会研究会資料. MM, マイクロマシン研究会

  電気学会研究会資料. MM, マイクロマシン研究会 1998 (1), 11-16, 1998-02-17

キーワード

• カセンサ
• 圧力センサ
• ピエゾ抵抗効果
• シリコンダイヤフラム
• FEM解析

詳細情報

• CRID: 1573950400011184512
• NII論文ID: 10016813540
• NII書誌ID: AA11357111
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles