フッ素化ポリイミドとSPPを用いた高アスペクト比加工

• 伊藤 高廣

  NTT

• 澤田 廉士

  NTT

• 日暮 栄治

  NTT

• 清倉 孝規

  NTT

書誌事項

タイトル別名

• Fabrication of High-aspect-ratio Microstructure of Polyimide using SPP Mask

収録刊行物

• 電気学会研究会資料. MM, マイクロマシン研究会

  電気学会研究会資料. MM, マイクロマシン研究会 1998 (14), 13-16, 1998-09-09

キーワード

• マイクロマシニング
• フッ素化ポリイミド
• SPP
• M-RIE

詳細情報

• CRID: 1572543025127535232
• NII論文ID: 10016813639
• NII書誌ID: AA11357111
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles