プロセスガス中電磁界下電子群輸送係数の解析

• 八幡 貴志

  北海道大学

• 菅原 広剛

  北海道大学

• 酒井 洋輔

  北海道大学

書誌事項

タイトル別名

• Analyses of electron transport coefficients in E×B fields in reactive gases

収録刊行物

• 電気学会研究会資料. ED, 放電研究会

  電気学会研究会資料. ED, 放電研究会 1999 (46), 13-18, 1999-08-05

キーワード

• 電磁界
• 電子ドリフト速度
• 電子拡散係数
• モンテカルロシミュレーション

詳細情報

• CRID: 1572543025128024192
• NII論文ID: 10016819398
• NII書誌ID: AN10320559
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles