RFプラズマへの衝撃電界重畳の効果

• 下田 託郎

  北海道大学

• 菅原 広剛

  北海道大学

• 酒井 洋輔

  北海道大学

書誌事項

タイトル別名

• Effects of Impulse Field on Electron Acceleration in RF Plasmas

収録刊行物

• 電気学会研究会資料. ED, 放電研究会

  電気学会研究会資料. ED, 放電研究会 1999 (46), 61-66, 1999-08-05

キーワード

• RFプラズマ
• 衝撃電界
• 反応の選択的促進

詳細情報

• CRID: 1570009750337203968
• NII論文ID: 10016819495
• NII書誌ID: AN10320559
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles