KrFエキシマレーザアブレーション法による酸化物及び炭素系薄膜作製
書誌事項
- タイトル別名
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- Oxide and Carbon-based Thin Films Prepared by KrF Excimer Laser Ablation Method
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収録刊行物
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- 電気学会研究会資料. ED, 放電研究会
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電気学会研究会資料. ED, 放電研究会 2000 (182), 35-40, 2000-12-08
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キーワード
詳細情報
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- CRID
- 1572824500117692800
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- NII論文ID
- 10016820919
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- NII書誌ID
- AN10320559
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- CiNii Articles