バリア放電プラズマのシミュレーション : XeエキシマランプRF放電
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- 小田 昭紀
- 北海道大学
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- 菅原 広剛
- 北海道大学
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- VENTZEK Peter L. G.
- 北海道大学
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- 酒井 洋輔
- 北海道大学
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- 明石 治朗
- 防衛大学校
書誌事項
- タイトル別名
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- A Simulation of Xe Excimer Lamp Discharge : RF Barrier Discharge Plasma
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収録刊行物
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- 電気学会研究会資料. ED, 放電研究会
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電気学会研究会資料. ED, 放電研究会 1996 (218), 29-38, 1996-11-27
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1571417125237278848
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- NII論文ID
- 10016830258
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- NII書誌ID
- AN10320559
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- CiNii Articles