極端紫外光発生用高平均出力固体レーザー装置の開発 Development of High-average-power LD Pumped Solid-State Laser System for EUV

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著者

    • 吉田 英次 YOSHIDA H.
    • 大阪大学レーザーエネルギー学研究センター Institute of Laser Engineering, Osaka University
    • 藤田 尚徳 FUJITA H.
    • 大阪大学レーザーエネルギー学研究センター Institute of Laser Engineering, Osaka University
    • 藤本 靖 FUJIMOTO Y.
    • 大阪大学レーザーエネルギー学研究センター Institute of Laser Engineering, Osaka University
    • 宮永 憲明 MIYANAGA N.
    • 大阪大学レーザーエネルギー学研究センター Institute of Laser Engineering, Osaka University
    • 井澤 靖和 IZAWA Y.
    • 大阪大学レーザーエネルギー学研究センター Institute of Laser Engineering, Osaka University

収録刊行物

  • レーザー学会研究会報告 = Reports on the Topical meeting of the Laser Society of Japan  

    レーザー学会研究会報告 = Reports on the Topical meeting of the Laser Society of Japan 349, 43-47, 2006-07-14 

参考文献:  5件

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10018006102
  • NII書誌ID(NCID)
    AA11604414
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    REV
  • データ提供元
    CJP書誌 
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