Auクラスター一次イオン源を用いたTOF-SIMS測定における二次イオン強度増大効果

• 工藤 正博

  成蹊大学理工学部物質生命理工学科

• 相本 健一

  成蹊大学理工学部物質生命理工学科

• 加藤 信彦

  成蹊大学理工学部物質生命理工学科

• 青柳 里果

  島根大学生物資源科学部地域開発科学科

• 飯田 典子

  アルバック・ファイ（株）

• 山本 公

  アルバック・ファイ（株）

書誌事項

タイトル別名

• Enhancement of Secondary Ion Intensities from Polymers in the TOF-SIMS Analysis using Gold Cluster Ions
• Au クラスター 1ジ イオン ゲン オ モチイタ TOF SIMS ソクテイ ニ オケル 2ジ イオン キョウド ゾウダイ コウカ

抄録

Enhancement of the secondary ion intensity in the TOF-SIMS spectra obtained by Au⁺ and Au₃⁺ bombardment was investigated in comparison with Ga⁺ excitation using polymer samples with different molecular weight distributions. Since the polymer samples used in this experiment have wide molecular weight distributions, the advantages of a gold cluster primary ion source over a monoatomic ion source could systematically be evaluated. It was found that a Au primary ion source for a TOF-SIMS instrument has advantages in such terms as (1) the mass effect of the monoatomic primary ion, i.e., Au⁺ vs. Ga⁺, (2) the cluster primary ion effect of Au₃⁺ compared with Au⁺ and Ga⁺, and (3)decrease in the degree of fragmentation by usage of a cluster primary ion beam compared with a monoatomic ion beam.

収録刊行物

• 表面科学

  表面科学 27 (9), 518-522, 2006

  公益社団法人 日本表面科学会

詳細情報

• CRID: 1390282681434465280
• NII論文ID: 10018051670
• NII書誌ID: AN00334149
• DOI: 10.1380/jsssj.27.518
• COI: 1:CAS:528:DC%2BD28Xht1Wgtr3E
• ISSN: 18814743
• ISSN: 03885321
• NDL書誌ID: 8091021
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I8091021
• Web Site: https://www.jstage.jst.go.jp/article/jsssj/27/9/27_9_518/_pdf
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • NDL
  • Crossref
  • CiNii Articles
• 抄録ライセンスフラグ: 使用不可