ターボ分子ポンプ Turbomolecular Pump

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著者

    • 尾高 憲二 ODAKA Kenji
    • 独立行政法人産業技術総合研究所 計測フロンティア研究部門 Research Institute of Instrumentation Frontier, National Institute of Advanced Industrial Science and Technology

抄録

  Turbomolecular pumps (TMPs) are fully grown products. There are four points to say so. First, hydrodynamic designing method is well established because there is no change in the pumping speed in the last ten years. Second, ultimate pressures of the order of 10<sup>−10</sup> Pa are achieved. This corresponds to the lowest outgassing rate developed for metals. Third, they have extended operating range to pressures as high as 100 Pa with combination of turbo-drag pumps. Fourth, TMPs with electro-magnetic bearings produce perfectly clean vacuum with clean roughing pumps. For further development TMPs might focus on special usages.<br>

収録刊行物

  • 真空 = JOURNAL OF THE VACUUM SOCIETY OF JAPAN  

    真空 = JOURNAL OF THE VACUUM SOCIETY OF JAPAN 49(8), 466-469, 2006-08-20 

    The Vacuum Society of Japan

参考文献:  5件

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10018052093
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00119871
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    REV
  • ISSN
    05598516
  • NDL 記事登録ID
    8091199
  • NDL 雑誌分類
    ZN15(科学技術--機械工学・工業--流体機械)
  • NDL 請求記号
    Z16-474
  • データ提供元
    CJP書誌  NDL  J-STAGE 
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