CZ法大型CaF2単結晶の育成と光学特性

• 正田 勲

• 縄田 輝彦

書誌事項

タイトル別名

• CZ ホウオオガタ CaF2タンケッショウ ノ イクセイ ト コウガク トクセイ
• 特集 オプティクス/フォトニクスを支えるセラミックス材料の開発最前線
• トクシュウ オプティクス フォトニクス オ ササエル セラミックス ザイリョウ ノ カイハツ サイゼンセン

収録刊行物

• Ceramics Japan = セラミックス : bulletin of the Ceramic Society of Japan

  Ceramics Japan = セラミックス : bulletin of the Ceramic Society of Japan 41 (9), 683-686, 2006-09

  東京 : 日本セラミックス協会

キーワード

• Calcium fluoride single crystal
• Czochralski method
• ArF lithography
• Lens material

詳細情報

• CRID: 1520009408555469824
• NII論文ID: 10018053206
• NII書誌ID: AN00131516
• ISSN: 0009031X
• NDL書誌ID: 8087389
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I8087389
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZP9(科学技術--化学・化学工業--無機化学・無機化学工業--セラミックス・窯業)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles