Nd:YAGレーザの高調波による窒化アルミニウムの微細穴加工

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収録刊行物

  • 電気加工学会全国大会講演論文集  

    電気加工学会全国大会講演論文集 2005, 9-10, 2005-11-17 

参考文献:  1件

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10018082514
  • NII書誌ID(NCID)
    AA11592596
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    SHO
  • データ提供元
    CJP書誌 
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