極紫外顕微ラマン分光法の開発 : 半導体ナノ表面層の評価 Development of Deep Ultraviolet micro-Raman Spectroscopy : Characterization of nanosurface of semiconductors

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著者

    • 中島 信一 NAKASHIMA Shin-ichi
    • (独)産業技術総合研究所, パワーエレクトロニクス研究センター Power Electronics Research Center, National Institute of Advanced Industrial Science and Technology
    • 三谷 武志 MITANI Takashi
    • (独)産業技術総合研究所, パワーエレクトロニクス研究センター Power Electronics Research Center, National Institute of Advanced Industrial Science and Technology
    • 奥村 元 OKUMURA Hajime
    • (独)産業技術総合研究所, パワーエレクトロニクス研究センター Power Electronics Research Center, National Institute of Advanced Industrial Science and Technology

抄録

Recent advance in instrumentations has provided progress in deep ultraviolet (DUV) Raman spectroscopy. This technique has enabled to characterize thin surface layers of wide gap semiconductors, because the penetra-tion depth of the DUV light is very shallow for these materials. We have briefly reviewed present status of the DUV Raman spectroscopy and its application to studies of inorganic and organic materials. Results of the DUV Raman characterization of surfaces and damage in nano-scaled surface layers which is induced by processing for device fabrication are also described.

収録刊行物

  • 分光研究 = Journal of the spectroscopical research of Japan

    分光研究 = Journal of the spectroscopical research of Japan 55(5), 295-307, 2006-10-15

    The Spectroscopical Society of Japan

参考文献:  43件中 1-43件 を表示

  • <no title>

    CHALMERS J. M. ed.

    Hand book of Vibrational Spectroscopy, 2002

    被引用文献1件

  • <no title>

    SANDS H. S.

    J. Raman Spectrosc. 33, 730, 2002

    被引用文献1件

  • <no title>

    NAKASHIMA S.

    Appl. Spectrosc. 58, 224, 2004

    被引用文献1件

  • <no title>

    NAKASHIMA S.

    J. Appl. Phys. 97, 123507, 2005

    被引用文献1件

  • <no title>

    NAKASHIMA S.

    J. Electrochem. Soc. 153, G319, 2006

    被引用文献1件

  • <no title>

    SCHULZ B.

    Rev. Sci. Instr. 76, 073107, 2005

    被引用文献1件

  • <no title>

    HUANG S. M.

    Surf. Coating Technol. 151-152, 263, 2002

    被引用文献1件

  • <no title>

    JUNG H-S.

    J. Appl. Phys. 96, 1013, 2004

    被引用文献1件

  • <no title>

    FERRARI C.

    Phys. Rev. 64, 075414, 2001

    被引用文献1件

  • <no title>

    MYKHAYLYK O. O.

    J. Appl. Phys. 97, 074302, 2005

    被引用文献1件

  • <no title>

    KUBALL M.

    Phys. Stat. Sol (b) 215, 105, 1999

    被引用文献1件

  • <no title>

    ZHAO X.

    J. Raman Spectrosc. 29, 49, 1998

    被引用文献1件

  • <no title>

    HUANG C-Y.

    J. Raman Spectrosc. 37, 277, 2006

    被引用文献1件

  • <no title>

    NUOPPONEN M.

    Spectrochim. Acta, Part A 60, 2963, 2004

    被引用文献1件

  • <no title>

    柿花真人

    分光研究 51, 214, 2002

    被引用文献1件

  • <no title>

    AGER J. W. III

    J. Biomed. Opt. 10, 034012, 2005

    被引用文献1件

  • <no title>

    TANAKA Y.

    Mater. Sci. Forum 389-393, 799, 2002

    被引用文献1件

  • <no title>

    NEGORO Y.

    J. Appl. Phys. 96, 2248, 2004

    被引用文献1件

  • <no title>

    NAKASHIMA S.

    Mater. Sci. Forum 527-529, 333, 2006

    被引用文献1件

  • <no title>

    BOUSTANY N. N.

    Appl. Spectrosc. 54, 24, 2000

    被引用文献1件

  • <no title>

    PAJCINI V.

    Appl. Spectrosc. 51, 81, 1997

    被引用文献1件

  • <no title>

    SPARROW M. C.

    Appl. Spectrosc. 55, 66, 2001

    被引用文献1件

  • <no title>

    BORMETT R. W.

    J. Appl. Phys. 77, 5916, 1995

    被引用文献1件

  • <no title>

    SUN Z.

    Diamond related Mater 9, 1979, 2000

    被引用文献1件

  • <no title>

    SUROVTSEV N. V.

    J. Phys : Condens. Matter 11, 4767, 1999

    被引用文献1件

  • <no title>

    MERKULOV V. I.

    Phys. Rev. Lett. 78, 4869, 1997

    被引用文献3件

  • <no title>

    LEE D. H.

    Appl. Phys. Lett. 73, 2423, 1998

    被引用文献1件

  • <no title>

    GILKES K. W. R.

    Appl. Phys. Lett. 70, 1980-1982, 1997

    被引用文献4件

  • <no title>

    CHENG Y. H.

    Diamond Relat. Mater. 10, 2137, 2001

    被引用文献1件

  • <no title>

    RAVINDRAN T. R.

    Chem. Matter 13, 4187, 2001

    被引用文献1件

  • <no title>

    KUBALL M.

    Appl. Phys. Lett. 74, 549, 1999

    被引用文献1件

  • <no title>

    DEMANGEOT F.

    Solid State Commun. 109, 519, 1999

    被引用文献1件

  • <no title>

    ALEXON D.

    J. Appl. Phys. 89, 798, 2001

    被引用文献1件

  • <no title>

    HOLTZ J. S. W.

    Appl. Spectrosc. 50, 1459, 1996

    被引用文献1件

  • <no title>

    YASHIMA M.

    Appl. Spectrosc. 51, 1224, 1997

    被引用文献3件

  • <no title>

    ZOUBOULIS S.

    Phys. Rev. B 43, 12490, 1991

    被引用文献1件

  • <no title>

    ZOUBOULIS E.

    Appl. Phys. Lett. 72, 1, 1998

    被引用文献1件

  • <no title>

    ASHER S. A.

    Appl. Spectrosc. 47, 628-633, 1993

    被引用文献2件

  • <no title>

    GREEK L. S.

    Appl. Optics 37, 170, 1998

    被引用文献1件

  • <no title>

    WEEKS R. A.

    J. Non Cryst. Solids 179, 1-9, 1994

    被引用文献1件

  • <no title>

    KARLITSCHEK P.

    Opt. Commun. 116, 219, 1995

    被引用文献1件

  • <no title>

    HARIMA H.

    J. Appl. Phys. 78, 1996, 1995

    被引用文献3件

  • Pressure Dependence of the Lattice Vibration in the Orthorhombic and Rhombohedral Structures of Black Phosphrus

    Sugai Shunji , Ueda Toru , Murase Kazuo

    Journal of the Physical Society of Japan 50(10), 3356-3361, 1981-10-15

    日本物理学会 被引用文献1件

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10018105773
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00222531
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    REV
  • ISSN
    00387002
  • NDL 記事登録ID
    8548203
  • NDL 雑誌分類
    ZM35(科学技術--物理学)
  • NDL 請求記号
    Z15-1
  • データ提供元
    CJP書誌  CJP引用  NDL  J-STAGE 
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