静電効果を用いたセンサ : MEMS静電容量型センサ MEMS Capacitive Sensor

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著者

    • 柳崎 高文 YANAGIZAKI Takafumi
    • オムロン株式会社 セミコンダクタ統括事業部 水口工場 ワークショップ2 OMRON Corporation, Semiconduceor Division H.Q Work Shop2

収録刊行物

  • 計測と制御 = Journal of the Society of Instrument and Control Engineers  

    計測と制御 = Journal of the Society of Instrument and Control Engineers 45(4), 302-305, 2006-04-10 

参考文献:  6件

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10018113485
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00072406
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    ART
  • ISSN
    04534662
  • データ提供元
    CJP書誌 
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