フレッシュマンのための計測講座  光の回折・干渉現象を応用したエンコーダ

書誌事項

タイトル別名
  • Linear Encoder based on Interferential Scanning Principle
  • ヒカリ ノ カイセツ カンショウ ゲンショウ オ オウヨウ シタ エンコーダ

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収録刊行物

  • 計測と制御

    計測と制御 45 (4), 318-322, 2006

    公益社団法人 計測自動制御学会

参考文献 (3)*注記

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