パルスレーザー堆積法により作製したZnO系透明導電膜の特性改善 Characteristic Improvement of Ttransparent Conducting ZnO Films Prepared by Pulsed Laser Deposition Method

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著者

    • 高瀬 康則 TAKASE Yasunori
    • 大阪産業大学工学部電気電子工学科 Department of Electrical Engineering and Electronics, College of Engineering, Osaka Sangyo University
    • 安倉 秀明 AGURA Hideaki
    • 大阪産業大学工学部電気電子工学科 Department of Electrical Engineering and Electronics, College of Engineering, Osaka Sangyo University
    • 東村 佳則 HIGASHIMURA Yoshinori
    • 大阪産業大学工学部電気電子工学科 Department of Electrical Engineering and Electronics, College of Engineering, Osaka Sangyo University
    • 鈴木 晶雄 SUZUKI Akio
    • 大阪産業大学工学部電気電子工学科 Department of Electrical Engineering and Electronics, College of Engineering, Osaka Sangyo University
    • 青木 孝憲 AOKI Takanori
    • 大阪産業大学工学部電気電子工学科 Department of Electrical Engineering and Electronics, College of Engineering, Osaka Sangyo University
    • 松下 辰彦 MATSUSHITA Tatsuhiko
    • 大阪産業大学工学部電気電子工学科 Department of Electrical Engineering and Electronics, College of Engineering, Osaka Sangyo University

抄録

  Approximately 200-nm-thick 1.5 wt.% Al-doped zinc oxide (AZO: 1.5 wt.% Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub>) films have been deposited on glass substrates at 100°C by pulsed laser deposition (PLD) using the fourth harmonic generation (FHG) of Nd: YAG laser (λ=266 nm). In order to reduce resistivity of as-deposited films, annealing process was carried out by ArF excimer laser with laser energy density of 34 mJ/cm<sup>2</sup>. As a result, the value of resistivity was not almost improved: 1.54×10<sup>-3</sup> Ω•cm (for as-deposited) and 1.33×10<sup>-3</sup> Ω•cm (for annealed). On the other hand, for the films annealed by fourth harmonic generation of Nd:YAG laser with laser energy density of 20 mJ/cm<sup>2</sup>, the value of resistivity was reduced from 1.36×10<sup>-3</sup> Ω•cm to 8.34×10<sup>-4</sup> Ω•cm.<br>

収録刊行物

  • 真空 = JOURNAL OF THE VACUUM SOCIETY OF JAPAN  

    真空 = JOURNAL OF THE VACUUM SOCIETY OF JAPAN 49(3), 153-155, 2006-03-20 

    The Vacuum Society of Japan

参考文献:  7件

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被引用文献:  3件

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10018133540
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00119871
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    SHO
  • ISSN
    05598516
  • NDL 記事登録ID
    7931012
  • NDL 雑誌分類
    ZN15(科学技術--機械工学・工業--流体機械)
  • NDL 請求記号
    Z16-474
  • データ提供元
    CJP書誌  CJP引用  NDL  J-STAGE 
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