金属体に沿って伝搬するマイクロ波による高密度プラズマ生成 Generation of High-density Plasma by Microwaves Propagating Along Metal Surface

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著者

    • 上坂 裕之 KOUSAKA Hiroyuki
    • 名古屋大学大学院工学研究科機械理工学専攻 Department of Mechanical Science and Engineering, Graduate School of Engineering Nagoya University
    • 飯田 斉 IIDA Hitoshi
    • 名古屋大学大学院工学研究科機械理工学専攻 Department of Mechanical Science and Engineering, Graduate School of Engineering Nagoya University
    • 梅原 徳次 UMEHARA Noritsugu
    • 名古屋大学大学院工学研究科機械理工学専攻 Department of Mechanical Science and Engineering, Graduate School of Engineering Nagoya University

抄録

  We found high-density plasma generated by microwaves propagating along metal surface at a negative voltage against a grounded chamber. Magnetic probe measurement showed that 2.45-GHz microwaves propagated as surface waves that were guided by the interface between the high-density plasma and underdense region in ion sheath surrounding the metal surface. The same phenomenon was demonstrated to occur in a narrow metal tube 7.5 mm in inner diameter, where surface waves were considered to propagate along the interface between a high-density plasma column in the tube and underdense region in ion sheath formed along the inner wall of the tube.<br>

収録刊行物

  • 真空 = JOURNAL OF THE VACUUM SOCIETY OF JAPAN  

    真空 = JOURNAL OF THE VACUUM SOCIETY OF JAPAN 49(3), 183-185, 2006-03-20 

    The Vacuum Society of Japan

参考文献:  6件

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被引用文献:  4件

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10018133627
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00119871
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    SHO
  • ISSN
    05598516
  • NDL 記事登録ID
    7931202
  • NDL 雑誌分類
    ZN15(科学技術--機械工学・工業--流体機械)
  • NDL 請求記号
    Z16-474
  • データ提供元
    CJP書誌  CJP引用  NDL  J-STAGE 
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