金属体に沿って伝搬するマイクロ波による高密度プラズマ生成

  • 上坂 裕之
    名古屋大学大学院工学研究科機械理工学専攻
  • 飯田 斉
    名古屋大学大学院工学研究科機械理工学専攻
  • 梅原 徳次
    名古屋大学大学院工学研究科機械理工学専攻

書誌事項

タイトル別名
  • Generation of High-density Plasma by Microwaves Propagating Along Metal Surface
  • キンゾクタイ ニ ソッテ デンパン スル マイクロハ ニ ヨル コウミツド プラズマ セイセイ

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抄録

  We found high-density plasma generated by microwaves propagating along metal surface at a negative voltage against a grounded chamber. Magnetic probe measurement showed that 2.45-GHz microwaves propagated as surface waves that were guided by the interface between the high-density plasma and underdense region in ion sheath surrounding the metal surface. The same phenomenon was demonstrated to occur in a narrow metal tube 7.5 mm in inner diameter, where surface waves were considered to propagate along the interface between a high-density plasma column in the tube and underdense region in ion sheath formed along the inner wall of the tube.<br>

収録刊行物

  • 真空

    真空 49 (3), 183-185, 2006

    一般社団法人 日本真空学会

被引用文献 (6)*注記

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参考文献 (8)*注記

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