リニアモータを用いた超精密加工機と加工事例

• 内村 浩

• 福田 将彦

書誌事項

タイトル別名

• リニアモータ オ モチイタ チョウセイミツ カコウキ ト カコウ ジレイ
• 特集 工作機械の最新技術動向
• トクシュウ コウサク キカイ ノ サイシン ギジュツ ドウコウ

収録刊行物

• Abrasive technology : 砥粒加工学会誌 : journal of the Japan Society for Abrasive Technology

  Abrasive technology : 砥粒加工学会誌 : journal of the Japan Society for Abrasive Technology 50 (7), 373-376, 2006-07

  東京 : 砥粒加工学会

キーワード

• ultra-precision
• liner-motor
• servo error
• positioning
• aspheric lens
• light guide panel

詳細情報

• CRID: 1520009408520942080
• NII論文ID: 10018146002
• NII書誌ID: AN10192823
• ISSN: 09142703
• NDL書誌ID: 8020149
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I8020149
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZN11(科学技術--機械工学・工業)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles