マイクロリング共振器用SiON光導波膜の紫外線感光性の起源と低損失化の探求 Reversal of UV Sensitivity and Loss Reduction of SiON Microring Resonator by Thermal Annealing

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  • 電子情報通信学会技術研究報告. OPE, 光エレクトロニクス  

    電子情報通信学会技術研究報告. OPE, 光エレクトロニクス 106(54), 37-42, 2006-05-12 

参考文献:  10件

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10018155727
  • NII書誌ID(NCID)
    AN10442691
  • 本文言語コード
    ENG
  • 資料種別
    ART
  • データ提供元
    CJP書誌 
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