Reversal of UV Sensitivity and Loss Reduction of SiON Microring Resonator by Thermal Annealing

• 帶刀 崇

• 上野 哲

• 大平 俊行

書誌事項

タイトル別名

• マイクロリング共振器用SiON光導波膜の紫外線感光性の起源と低損失化の探求

収録刊行物

• 電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報

  電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 106 (54), 37-42, 2006-05-19

  東京 : 電子情報通信学会

キーワード

• マイクロ共振器
• トリミング
• プラズマCVD
• 陽電子寿命測定
• PALS
• 赤外線スペクトル吸光測定
• IR測定
• アニール
• trimming
• plasma enhanced chemical vapor deposition
• PECVD
• positron annihilation lifetime spectroscopy
• IR spectroscopy

詳細情報

• CRID: 1520009408104072960
• NII論文ID: 110004745213
• NII論文ID: 10018155727
• NII書誌ID: AA1123312X
• ISSN: 09135685
• NDL書誌ID: 7938548
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I7938548
• 本文言語コード: en
• NDL 雑誌分類:
  • ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles