SNDMによる Flash Memory の蓄積電荷の視覚化

• 本田 耕一郎

  (株)富士通研究所

• 長 康雄

  東北大学

書誌事項

タイトル別名

• Visualization using scanning nonlinear dielectric microscopy of electrons and holes localized in the thin gate film of a metal-SiO_2-Si_3N_4-SiO_2 -semiconductor flash memory

収録刊行物

• 電気学会研究会資料. EFM, 電子材料研究会

  電気学会研究会資料. EFM, 電子材料研究会 2006 (1), 31-34, 2006-06-28

キーワード

• 非線形誘電率顕微鏡
• Flash メモリ
• MONOS
• 蓄積電荷

詳細情報

• CRID: 1571698600335137792
• NII論文ID: 10018156876
• NII書誌ID: AN10442556
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles