容量連結型電極を用いたプラズマ生成とそのエネルギー制御 Production of Plasma by Capacity-Coupled Electrode and its Energy Control

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収録刊行物

  • 電気学会研究会資料. PPT, パルスパワー研究会

    電気学会研究会資料. PPT, パルスパワー研究会 2006(29), 19-24, 2006-06-30

参考文献:  8件中 1-8件 を表示

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10018157064
  • NII書誌ID(NCID)
    AA11404459
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    ART
  • データ提供元
    CJP書誌 
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