EEM(Elastic Emission Machining)によるナノ精度加工

• 三村 秀和

• 久保田 章亀

• 山内 和人

Bibliographic Information

Other Title

• EEM Elastic Emission Machining ニ ヨル ナノ セイド カコウ
• 特集 モノづくりと混相流(6)機能性微粒子技術を支える現象・要素技術
• トクシュウ モノヅクリ ト コンソウリュウ 6 キノウセイ ビリュウシ ギジュツ オ ササエル ゲンショウ ヨウソ ギジュツ

Journal

• 混相流 = Japanese journal of multiphase flow

  混相流 = Japanese journal of multiphase flow 20 (2), 110-116, 2006-06

  大阪 : 日本混相流学会

Keywords

• Ultraprecis Machining
• AFM
• STM
• X-ray mirror

Details

• CRID: 1520572357886077056
• NII Article ID: 10018165342
• NII Book ID: AN10088286
• ISSN: 09142843
• NDL BIB ID: 8008494
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I8008494
• Text Lang: ja
• NDL Source Classification:
  • ZM17(科学技術--科学技術一般--力学・応用力学)
• Data Source:
  • NDL
  • CiNii Articles