X線を用いた微細加工技術 : LIGAプロセス Microfabrication technology using X-ray lithography : LIGA process

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著者

    • 平田 嘉裕 HIRATA Yoshihiro
    • 住友電気工業(株)エレクトロニクス・材料研究所 Electronics & Materials R&D Laboratories, Sumitomo Electric Industiries Ltd.

収録刊行物

  • 放射線  

    放射線 32(2), 104-110, 2006-04-01 

    応用物理学会放射線分科会

参考文献:  9件

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10018165867
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00313954
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    SHO
  • ISSN
    02853604
  • NDL 記事登録ID
    8010191
  • NDL 雑誌分類
    ZM35(科学技術--物理学)
  • NDL 請求記号
    Z15-432
  • データ提供元
    CJP書誌  NDL 
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