平坦化CMP技術の基本と応用展開における考え方 Fundamental understandings of CMP planarization technology and design concept for the application

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  • 砥粒加工学会誌 = Journal of the Japan Society of Grinding Engineers

    砥粒加工学会誌 = Journal of the Japan Society of Grinding Engineers 50(8), 444-447, 2006-08-01

    砥粒加工学会

参考文献:  5件中 1-5件 を表示

  • <no title>

    MOY D.

    Proceedings 1989 VMIC Conference, 1989

    被引用文献1件

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    EVANS D. R.

    Proceedings 1998, CMP-MIC Conference, 1998

    被引用文献1件

  • <no title>

    HOSHINO S.

    Proceeding of CMP-MICConference, 2004, 2004

    被引用文献1件

  • <no title>

    WATANABE J.

    Key Engineering Materials 257-258, 407, 2004

    被引用文献1件

  • <no title>

    村田順二

    2005年度精密工学会秋季大会学術講演会論文集, 2005

    被引用文献1件

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10018181188
  • NII書誌ID(NCID)
    AN10192823
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    REV
  • ISSN
    09142703
  • NDL 記事登録ID
    8052656
  • NDL 雑誌分類
    ZN11(科学技術--機械工学・工業)
  • NDL 請求記号
    Z16-1147
  • データ提供元
    CJP書誌  NDL 
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