SnドープInSb単結晶薄膜の磁気抵抗効果と回転検出特性

• 柴崎 一郎

  旭化成株式会社　新事業本部　柴崎研究室

• 西村 和浩

  旭化成電子株式会社　応用技術部

• 後藤 広将

  旭化成株式会社　新事業本部　柴崎研究室

• 岡本 敦

  旭化成株式会社　新事業本部　柴崎研究室

書誌事項

タイトル別名

• Magneto-resistance Effect of Sn-doped InSb Single Crystal Thin Films and Application to Rotation Detection
• Sn ドープ InSbタンケッショウ ハクマク ノ ジキ テイコウ コウカ ト カイテン ケンシュツ トクセイ

抄録

Using Sn-doped single crystal InSb thin films of 1.0μm thickness grown on GaAs substrates by molecular beam epitaxy (MBE), we have developed new magneto-resistance (MR) elements with very small temperature dependence. These MR elements was used to form rotation detection sensors combined with bias magnet, and we can achieve the stable contactless detection of rotating gear teeth over a wide range of rotation speeds and a wide range of temperatures-20 to 140°C.

収録刊行物

• 電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌）

  電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌） 126 (8), 445-452, 2006

  一般社団法人 電気学会

キーワード

• 半導体磁気抵抗素子
• InSb単結晶薄膜
• 分子線エピタキシー
• Snドープ
• 歯車回転検出

詳細情報

• CRID: 1390282679436822400
• NII論文ID: 10018182273
• NII書誌ID: AN1052634X
• DOI: 10.1541/ieejsmas.126.445
• ISSN: 13475525
• ISSN: 13418939
• NDL書誌ID: 8056466
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I8056466
• Web Site: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas/126/8/126_8_445/_pdf
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • NDL
  • Crossref
  • CiNii Articles
• 抄録ライセンスフラグ: 使用不可