The Surface Analysis to Evaluate Its Profile by Electron Beam

• TAGUCHI Yoshio

  Elionix Inc.

• OMATA Yukiko

  Elionix Inc.

Bibliographic Information

Other Title

• 最近の表面形状測定技術　　電子線を用いた表面形状評価技術
• 電子線を用いた表面形状評価技術
• デンシセン オ モチイタ ヒョウメン ケイジョウ ヒョウカ ギジュツ

Journal

• Journal of The Surface Finishing Society of Japan

  Journal of The Surface Finishing Society of Japan 57 (8), 564-568, 2006

  The Surface Finishing Society of Japan

Keywords

• SEM
• Secondary Electron Detector
• Tilt Angle Effect
• Emphasized Fopographical Image

Details

• CRID: 1390282679093151232
• NII Article ID: 10018208719
• NII Book ID: AN1005202X
• DOI: 10.4139/sfj.57.564
• ISSN: 18843409
• ISSN: 09151869
• NDL BIB ID: 8066385
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I8066385
• Text Lang: ja
• Data Source:
  • JaLC
  • NDL
  • Crossref
  • CiNii Articles