Measurement and Control Technology for Micro Chemical Plants

• ISOZAKI Katsumi

  Yokogawa Electric Corporation, Advanced Technology Research Center

Bibliographic Information

Other Title

• 化学合成のためのマイクロプラントにおける計測制御技術
• カガク ゴウセイ ノ タメ ノ マイクロプラント ニ オケル ケイソク セイギョ ギジュツ

Journal

• Shinku

  Shinku 49 (7), 419-423, 2006

  The Vacuum Society of Japan

Keywords

• Electrical and Electronic Engineering
• Surfaces, Coatings and Films
• Condensed Matter Physics

Details

• CRID: 1390282679041633536
• NII Article ID: 10018210300
• NII Book ID: AN00119871
• DOI: 10.3131/jvsj.49.419
• ISSN: 18809413
• ISSN: 05598516
• NDL BIB ID: 8058320
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I8058320
• Text Lang: ja
• Data Source:
  • JaLC
  • NDL
  • Crossref
  • CiNii Articles