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収録刊行物
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- J. Vac. Sci. & Technol., A
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J. Vac. Sci. & Technol., A 6 (1), 25-, 1988
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詳細情報
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- CRID
- 1571698600332796416
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- NII論文ID
- 10018210325
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- データソース種別
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- CiNii Articles