水熱PZT多結晶膜を用いた一次元アレイ超音波プローブに関する基礎研究--多結晶膜振動子の配列化と受信波形の確認

• 遠藤 聡人

• 川島 徳道

• 竹内 真一

Bibliographic Information

Other Title

• スイネツ PZT タケッショウ マク オ モチイタ 1ジゲン アレイ チョウオンパ プローブ ニ カンスル キソ ケンキュウ タケッショウ マク シンドウシ ノ ハイレツカ ト ジュシン ハケイ ノ カクニン

Journal

• 電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報

  電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 106 (147), 11-16, 2006-07-12

  東京 : 電子情報通信学会

Keywords

• 水熱合成法
• 一次元アレイ
• スパッタ法
• PZT多結晶膜
• フォトリソグラフィ
• hydrothermal method
• sputtering
• photolithography
• 1D-array
• PZT

Details

• CRID: 1520853833173934720
• NII Article ID: 10018224323
• NII Article ID: 110004810345
• NII Book ID: AA1123312X
• ISSN: 09135685
• NDL BIB ID: 8017024
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I8017024
• Text Lang: ja
• NDL Source Classification:
  • ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
• Data Source:
  • NDL
  • CiNii Articles
  • KAKEN