マイクロチャネル中に注入した微小液滴の電界駆動により動作する交叉導波路型光スイッチ--マイクロチャネルの製作技術とスイッチング特性

• 池本 卓司

• 國分 泰雄

書誌事項

タイトル別名

• マイクロチャネル チュウ ニ チュウニュウ シタ ビショウ エキテキ ノ デンカイ クドウ ニ ヨリ ドウサ スル コウサ ドウハロガタ ヒカリ スイッチ マイクロチャネル ノ セイサク ギジュツ ト スイッチング トクセイ

収録刊行物

• 電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報

  電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 106 (214), 107-112, 2006-08

  東京 : 電子情報通信学会

キーワード

• MEMS
• ダマシンプロセス
• 液滴移動
• optical switch
• micro-electro-mechanical system
• micro-channel
• Damascene process
• droplet movement

詳細情報

• CRID: 1520009407224668672
• NII論文ID: 110004821087
• NII論文ID: 10018233286
• NII論文ID: 110004821138
• NII論文ID: 110004823239
• NII論文ID: 110004820947
• NII書誌ID: AA1123312X
• ISSN: 09135685
• NDL書誌ID: 8049755
• NDL書誌ID: 8048364
• NDL書誌ID: 8049753
• NDL書誌ID: 8049752
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I8049755
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I8048364
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I8049753
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I8049752
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles