EuBa2Cu3O7-δ厚膜用CeO2バッファ層の厚膜化

• 菊地 景大

• 佐久間 純

• 藤原 聡

Bibliographic Information

Other Title

• EuBa2Cu3O7 デルタ コウマクヨウ CeO2 バッファソウ ノ コウマクカ

Journal

• 電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報

  電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 106 (203), 43-46, 2006-08

  東京 : 電子情報通信学会

Keywords

• マグネトロンスパッタリング
• (111)ファセット
• magnetron sputtering
• (111)facet

Details

• CRID: 1520853832672579840
• NII Article ID: 10018233551
• NII Article ID: 110004823212
• NII Book ID: AA1123312X
• ISSN: 09135685
• NDL BIB ID: 8048861
• Web Site: http://id.ndl.go.jp/bib/8048861
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I8048861
• Text Lang: ja
• NDL Source Classification:
  • ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
• Data Source:
  • NDL
  • CiNii Articles