対向ターゲットマグネトロンスパッタ法を用いた大型超伝導薄膜に対する熱処理の効果 The effect of heat treatment on a large sized sperconducting thin film using the facing targets magnetron suputtering method

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  • 電子情報通信学会技術研究報告. CPM, 電子部品・材料

    電子情報通信学会技術研究報告. CPM, 電子部品・材料 106(203), 57-62, 2006-07-31

参考文献:  2件中 1-2件 を表示

  • <no title>

    ZAITSEV A G

    Inst. Phys. Conf. Ser.

    被引用文献1件

  • <no title>

    HASHINOTO Takeo

    TECHNICAL REPORT OF IEICE, 2002

    被引用文献1件

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10018233566
  • NII書誌ID(NCID)
    AN10012932
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    ART
  • データ提供元
    CJP書誌 
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