対向ターゲットマグネトロンスパッタ法を用いた大型超伝導薄膜に対する熱処理の効果 The effect of heat treatment on a large sized sperconducting thin film using the facing targets magnetron suputtering method

この論文をさがす

著者

収録刊行物

  • 電子情報通信学会技術研究報告. CPM, 電子部品・材料  

    電子情報通信学会技術研究報告. CPM, 電子部品・材料 106(203), 57-62, 2006-07-31 

参考文献:  2件

参考文献を見るにはログインが必要です。ユーザIDをお持ちでない方は新規登録してください。

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10018233566
  • NII書誌ID(NCID)
    AN10012932
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    ART
  • データ提供元
    CJP書誌 
ページトップへ