Optical waveguide switch based on movement of matching oil in microchannel driven by electrostatic force : Fabrication technology and switching characteristics

• IKEMOTO Takuji

  The authors are with the Graduate School of Eng., Yokohama National Univ.

• KOKUBUN Yasuo

  The authors are with the Graduate School of Eng., Yokohama National Univ.

Bibliographic Information

Other Title

• マイクロチャネル中に注入した微小液滴の電界駆動により動作する交叉導波路型光スイッチ : マイクロチャネルの製作技術とスイッチング特性

Journal

• 電子情報通信学会技術研究報告. CPM, 電子部品・材料

  電子情報通信学会技術研究報告. CPM, 電子部品・材料 106 (213), 107-112, 2006-08-17

Keywords

• optical switch
• micro-electro-mechanical system
• micro-channel
• Damascene process
• droplet movement

Details

• CRID: 1570291225423831424
• NII Article ID: 10018233776
• NII Book ID: AN10012932
• Text Lang: ja
• Data Source:
  • CiNii Articles