感光性ポリイミド・感光性ポリベンズオキサゾールの開発

• 福川 健一

  東京工業大学大学院理工学研究科有機・高分子物質専攻

• 上田 充

  東京工業大学大学院理工学研究科有機・高分子物質専攻

書誌事項

タイトル別名

• Developments of Photosensitive Polyimides and Photosensitive Polybenzoxazoles
• カンコウセイ ポリイミド カンコウセイ ポリベンズオキサゾール ノ カイハツ

抄録

感光性, 絶縁膜および保護膜の機能をもつ感光性ポリイミド, 感光性ポリベンズオキサゾールは半導体分野の配線部分の層間絶縁膜, 保護膜およびその形成プロセスを簡略化するための重要な役割を果たしている. これら耐熱性感光性ポリマーの最近の進歩について, 画像形成機構に着目して, ポジおよびネガ型感光性ポリイミド, ポジおよびネガ型感光性ポリベンズオキサゾールの順で紹介する. まず, 工業的に用いられている感光性ポリイミド, 感光性ポリベンズオキサゾールについて述べた後, これらの感光性ポリマーの抱える問題に対処するための最近の進歩, 次世代の感光性ポリマーに要求される諸特性, すなわち, 高感度化, 低誘電性, 低温環化などに対応した新規なレジスト構成および分子設計, さらにはプロセスの簡略化に対応した感光性ポリマー溶液の簡便な調整法の開発など多岐にわたる報告例を紹介する.

収録刊行物

• 高分子論文集

  高分子論文集 63 (9), 561-576, 2006

  公益社団法人 高分子学会

キーワード

• Photosensitive Polymers
• Polyimides
• Polybenzoxazoles
• Alkaline Developable
• Low-temperature Cyclization
• Negative Type
• Positive Type
• Cross Linker
• Photosensitizer
• Patterning

詳細情報

• CRID: 1390282681500156928
• NII論文ID: 10018244218
• NII書誌ID: AN00085011
• DOI: 10.1295/koron.63.561
• COI: 1:CAS:528:DC%2BD28XhtVClsrfE
• ISSN: 18815685
• ISSN: 03862186
• NDL書誌ID: 8518623
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I8518623
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • NDL
  • Crossref
  • CiNii Articles
• 抄録ライセンスフラグ: 使用不可