表面波プラズマ装置と新直流バイアス印加法を用いた薄膜ナノクリスタルダイヤモンド低気圧合成 Surface Wave Plasma Device and Low Pressure CVD of Nanocrystalline Diamond Film in New DC Bias Method

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  • 表面技術 = The Journal of the Surface Finishing Society of Japan

    表面技術 = The Journal of the Surface Finishing Society of Japan 57(9), 636-642, 2006-09-01

    The Surface Finishing Society of Japan

参考文献:  34件中 1-34件 を表示

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    金載浩

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    SENDA Kazuaki , UMEHARA Koutarou , SAKAMOTO Yuichi

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    Omura Takuro , Komiyama Fumiyuki , Kogoshi Sumio

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10018244551
  • NII書誌ID(NCID)
    AN1005202X
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    REV
  • ISSN
    09151869
  • NDL 記事登録ID
    8093726
  • NDL 雑誌分類
    ZP41(科学技術--金属工学・鉱山工学)
  • NDL 請求記号
    Z17-291
  • データ提供元
    CJP書誌  NDL  J-STAGE 
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