Surface Wave Plasma Device and Low Pressure CVD of Nanocrystalline Diamond Film in New DC Bias Method

• KATSURAI Makoto

  Professor Emeritus of the University of Tokyo

• KIM Jaeho

  Graduate School of Frontier Sciences, The University of Tokyo

Bibliographic Information

Other Title

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Journal

• Journal of The Surface Finishing Society of Japan

  Journal of The Surface Finishing Society of Japan 57 (9), 636-642, 2006

  The Surface Finishing Society of Japan

Keywords

• Surface Wave Plasma
• Nanocrystalline Diamond Film
• Plasma CVD
• DC Bias
• Microwave Discharge

Details

• CRID: 1390001204117662720
• NII Article ID: 10018244551
• NII Book ID: AN1005202X
• DOI: 10.4139/sfj.57.636
• ISSN: 18843409
• ISSN: 09151869
• NDL BIB ID: 8093726
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I8093726
• Text Lang: ja
• Data Source:
  • JaLC
  • NDL
  • Crossref
  • CiNii Articles