産業用途向け高出力・高繰り返し波長変換LD-YAGレーザー High-Power and High-Repetition Frequency Conversion LD-YAG Laser for Industrial Applications

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抄録

We report on the recent developments of laser-diode pumped frequency conversion solid-state lasers in our section. A 150W TEM<SUB>00</SUB> mode, linearly polarized 1064nm beam was generated with a MOPA system. The system was applied for high-power frequency conversion. 30W 355nm and 5.6W 213nm output power was generated at a repetition rate of more than 10kHz. Frequency-tripling-efficiency of CBO (CsB<SUB>3</SUB>O<SUB>5</SUB>) crystal was compared with LBO (LiB<SUB>3</SUB>O<SUB>5</SUB>) crystal experimentally. We also introduce an industrial 200W 532nm laser, developed for TFT annealing process.

収録刊行物

  • レーザー研究  

    レーザー研究 34(9), 640-643, 2006-09-15 

    The Laser Society of Japan

参考文献:  12件

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10018250460
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00255326
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    ART
  • ISSN
    03870200
  • NDL 記事登録ID
    8515026
  • NDL 雑誌分類
    ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
  • NDL 請求記号
    Z16-1040
  • データ提供元
    CJP書誌  NDL  J-STAGE 
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