ファインセラミックスの超精密ポリシング

• 木村 景一

Bibliographic Information

Other Title

• ファイン セラミックス ノ チョウセイミツ ポリシング
• 特集 ファインセラミックス加工のこれまでと今後の展望
• トクシュウ ファイン セラミックス カコウ ノ コレマデ ト コンゴ ノ テンボウ

Journal

• Abrasive technology : 砥粒加工学会誌 : journal of the Japan Society for Abrasive Technology

  Abrasive technology : 砥粒加工学会誌 : journal of the Japan Society for Abrasive Technology 49 (11), 608-611, 2005-11

  東京 : 砥粒加工学会

Keywords

• fine ceramics
• polishing
• mechanochemical polishing
• MCP
• chemical mechanical polishing
• CMP
• EEM
• Elastic Emission Machining

Details

• CRID: 1520009407639648640
• NII Article ID: 10018278348
• NII Book ID: AN10192823
• ISSN: 09142703
• NDL BIB ID: 7718913
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I7718913
• Text Lang: ja
• NDL Source Classification:
  • ZN11(科学技術--機械工学・工業)
• Data Source:
  • NDL
  • CiNii Articles